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YAMATO潔凈厭氧高溫氣氛爐DTN430C/630C/450C/650C
    發布時間: 2019-11-09 13:20    

潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應用于固化半導體晶圓等。

特點
● 最高工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm,主要應用于固化半導體晶圓(光刻膠PI、PBO固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
● 采用耐熱高性能高效過濾器,箱內潔凈度始終保持在100級,可在潔凈的環境下進行高溫烘烤。
● 高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N2消耗量極低。
● 通過磁密封保持高氣密性,并采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
● 可實現快速升溫和降溫,升降溫速率可調節。
● 標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收。
● 液晶觸摸屏操作,自動/手動兩種運行模式。


安全性
● 擁有門檢測開關、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電保護開關等安裝裝置。


規格

型號

DTN430C

DTN630C

DTN450C

DTN650C

方式

氮氣置換+ 強制送風循環

性能

使用溫度范圍

室溫+50~360℃

室溫+50~500℃

溫度調節精度

±0.5℃(at360℃)

±1.0℃(at500℃)

溫度分布精度

±5.0℃(at360℃)

±8.0℃(at500℃)

最高溫度到達時間

約80分鐘

約110分鐘

氧濃度

20ppm 以下

氧濃度到達時間

≤ 20分(250L/min 氮氣)

≤ 25分(250L/min 氮氣)

≤ 20分(250L/min 氮氣)

≤ 25分(250L/min 氮氣)

潔凈度

溫度恒定時100級

 

構成

內裝

不銹鋼板

外裝

冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝

斷熱材

硅酸鋁棉

加熱方式

不銹鋼加熱管

加熱功率

主加熱器

6.75KW

9KW

9.5KW

14.2KW

N2預熱

1KW

冷卻機構

不銹鋼冷卻水換熱器

HEPA過濾器

集塵效率:0.3um粒子99.97%以上

控制器

溫度控制方式

PID控制

溫度控制器

液晶觸摸屏+PLC

運行功能

手動定值運行、自動程序運行

程序模式

程序運行9個,每個程序可設置9步(可擴展)

附加功能

操作員等級認證

加熱器回路控制

SSR驅動

傳感器

K型熱電偶(溫度控制及過升防止器)

安全裝置

門檢測開關、過升防止器、氧濃度異常、N2 預熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2 流量檢測、

風機過載檢測、過電流漏電保護開關等

規格

內尺寸(寬×深×高mm)

450×450×450

660×500×660

450×450×450

660×500×660

外形尺寸(寬×深×高mm)

1090×950×1540

1300×1000×1750

1240×1010×1750

1450×1060×1960

內容積

91L

216L

91L

216L

棚板層數/層間距

12層/30mm

19層/30mm

12層/30mm

19層/30mm

排氣口

40KF法蘭

氮氣入口

Rc1/2

冷卻水入口

Rc3/4

熱水出口

Rc3/4,2個

電源(50/60Hz)額定電流

3相AC380V 16A

3相AC380V 19A

3相AC380V 20A

3相AC380V 27A

重量

約900kg

約1100kg

約900kg

約1100kg

選購品

棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈(待機/ 運行/ 故障)、以太網通信功能



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