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YAMATO等離子清洗機PR500/510/1000 DP模式、桶型
    發布時間: 2019-03-25 11:59    

低溫等離子·經典桶型。

PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
內槽
硅晶圓灰化狀態
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。


● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對應
 
用途
● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔
● 小型一體化設計

規格：

型號

PR500

PR510

等離子模式

DP模式，桶形

高頻輸出功率

Max500W

頻率

13.56MHz

同調方式

自動協調

反應腔

石英Φ215×305mm

反應氣體

2系統（O2／CF4）

控制

手動

觸模屏自動控制

配管材質

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W438 x D520 x H760mm

參照規格書

重量

約60kg

參照規格書

電源

單相AC100V 9A

三相AC200V 8A



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