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Kashiyama SDE系列真空泵
    發布時間: 2018-12-06 17:18    

Kashiyama真空泵SDE系列


1.可達到200kL/min.


2.最適合大尺寸晶圓和FPD使用。


3.經得起各種工藝的考驗。


KASHIYAMA真空泵SDE系列規格


規格書 /產品介紹

SDE1220

SDE20M20

SDE30M20

SDE4060

SDE4030M20

SDE8060

SDE804060

最大抽速[L/min]

20,000

30,000

50,000

60,000

80,000

120,000

190,000

極限壓力[Pa]

0.5

0.8

0.5

0.8

0.5

電源電壓(50/60Hz)

3 Phase AC200～220V，380～480V

尺寸[mm] 寬W*高H*長L

W:400 

H: 780 

L:930

W:450 

H: 950  

L:1000

W:450

H: 950 

 L:1000

W:750

H: 1200

L: 1600

W:800 

H:  1580 

L:1320

W:850

H: 1220

 L: 1600

W:1000

H:  1980 

L:1850













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