排氣速度[L/min] *1

1,660

3,000

5,000

10,000

20,000

30,000

極限真空度[Pa] *1

1.5

0.5

電源電壓(50/60Hz)

3Phase AC200～220V *2

電力消耗[kW] *3

0.35

0.5

0.55

0.6

0.9

1.0

尺寸 [mm] L×W×H *4

450×230×275

550×280×299

450×230×520

530×230×520

870×380×751

1000×450×950

重量 [kg]

60

95

100

120

270

410