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從樣品表面改質到清洗的小型臺式等離子清洗機。用途:? 高分子材料表面的官能基附與→粘合性、密著性提高。通過氧化反應,在表面生產-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影響)。同樣在氮氣等離子體中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH2等官能基。? 晶硅圓蝕刻。? 材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。? 石棉預處理(膜過濾灰化)。? 從電子設備到生化市場。? 低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。? 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。? 表面有機物去除。特點:? RF為200W的高性能輸出類型(PR200)。? 由于是尺寸緊湊的臺式機,很小的位置都可以安裝。? 同步,自動調諧,操作簡單(PR200)。? 等離子體反應器(灰化設備)(PR200)。? 同步,自動調諧(PR200)。產品優勢: ●等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大,應用范圍廣。 ●對清洗樣品,沒有任何材質、外觀尺寸等要求。 ●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。 ●高效的特制電極,是產生均勻等離子體的保證。 ●特制電極和托盤結構,可保證樣品可得到全面有效的清洗。規格:
型號
PR200
PR301
方式
DP模式、圓柱形腔體
性能
發生器功率:
0-200W
0-300W
發生器頻率:
射頻RF13.56Mhz
發生器匹配方式:
自動匹配(Auto matching)
手動匹配(manul)
構成
腔體材質:
高硼硅玻璃
腔體內尺寸:
φ100×L160mm
φ118×L160mm
反應氣體:
一路工藝氣體,可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。
控制方式:
半自動控制
真空度顯示:
數字式皮拉尼傳感器,實時顯示腔體內真空度。
模擬式壓力表
配管材質:
SUS不銹鋼以及特氟龍
門:
鉸鏈門
外形尺寸:
W350×D400×H500mm
W438×D520×H630mm
真空泵抽速:
4m3/hour
電源規格:
AC220V 10A
重量:
約25kg
約34kg
附屬品
真空管件一套、真空轉接接頭一套、試料托盤一枚。
產品展示
Product display
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